电子半导体
在半导体制造中,即使是以十亿分率(PPB)衡量的微量有机污染也会影响生产良率。TOCLine-UV系统可以去除这些有机化合物(总有机碳-TOC)以及细菌和氯,以帮助维持芯片生产所必需的超纯水。
利用精密UV技术实现产量最大化
制造纳米级芯片需要极高的水纯度。我们的专业Super TOC紫外线灯管可以提供:
- 精确的185nm波长,将有机化合物分解到PPB水平
- 超纯水质量可实现最佳芯片性能
- 通过卓越的污染控制提高产量
您值得信赖的技术支持
凭借在全球半导体设施数十年的经验、世界一流的售后支持和坚如磐石的备件供应链,无论您是管理现有设施还是规划新设施,我们都将帮助您实现并保持生产过程所需的水纯度。
