电子半导体

在半导体制造中,即使是以十亿分率(PPB)衡量的微量有机污染也会影响生产良率。TOCLine-UV系统可以去除这些有机化合物(总有机碳-TOC)以及细菌和氯,以帮助维持芯片生产所必需的超纯水。

 

利用精密UV技术实现产量最大化

制造纳米级芯片需要极高的水纯度。我们的专业Super TOC紫外线灯管可以提供:

  • 精确的185nm波长,将有机化合物分解到PPB水平
  • 超纯水质量可实现最佳芯片性能
  • 通过卓越的污染控制提高产量

您值得信赖的技术支持

凭借在全球半导体设施数十年的经验、世界一流的售后支持和坚如磐石的备件供应链,无论您是管理现有设施还是规划新设施,我们都将帮助您实现并保持生产过程所需的水纯度。

为日常生活和未来优化的紫外线解决方案

紫外线在水处理中的TOC降解、脱氯和杀菌消毒是生产电子半导体行业中的超纯水非常有效的工艺步骤。

微电子工业紫外应用

半导体和微电子的每一个细节安全。

超纯水和回用水系统在半导体工厂中非常重要,主要用于在生产过程中清洁半导体元件。这种水对细菌、氯和TOC等有着较高质量的要求,在半导体的生产过程中极为重要。

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Laura Ipsum

Head of global sales

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